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重慶液晶面板低成本光刻工藝取得突破

dvbcn編輯 8年前 (2017-01-17) 3080
從中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院獲悉，該院成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶...

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